雙束聚焦離子束(FIB-SEM)是聚焦離子束(FIB)與掃描電子顯微鏡(SEM)耦合系統，通過結合相應的氣體沉積裝置，納米機械手，加載各種探測器及可控的樣品臺等附件成為一臺集微區成像、加工、分析、操縱于一體的分析儀器。
搭載的(de)能量色散(san)X射線光譜儀(yi)（Energy Dispersive Spectroscopy, EDS）可完成(cheng)對材(cai)料(liao)微區(qu)成(cheng)分元(yuan)素(su)種類與含量的(de)分析。
透射電子顯微鏡（TEM）是用波長很短的電子束作電子光源，用電子槍發射出的高速率和聚集電子束照射到很細的試樣上，采集透射電子通過電磁透鏡進行多級放大成像，具有高分辨和高放大倍數特性的電子光學儀器。
搭載的(de)能量色(se)散(san)X射線光(guang)譜儀（Energy Dispersive Spectroscopy, EDS）可完(wan)成材料微區成分元素種(zhong)類與含量的(de)分析。
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